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长期从事纳米摩擦学研究。研制出纳米级润滑膜厚度测量仪,发现了薄膜润滑的系列新现象,建立了薄膜润滑物理模型和润滑失效准则。将纳米摩擦学研究与先进电子制造相结合,在表面平坦化方面取得了关键技术突破,实现了表面粗糙度小于1Å的超光滑表面制造,并应用到计算机硬盘、单晶硅片、蓝宝石晶圆等制造中。曾获国家发明三等奖、国家自然科学二等奖、国家科技进步二等奖。
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